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        中国国家电子级超纯水GB/TII446.1-1997标准

        更新时间:2015-09-15      点击次数:3922

        中国国家电子级超纯水GB/TII446.11997标准



         指标\级别

         EW

         EW

        EW 

        EW-

         电阻率 MΩ,cm(25)

        18以上,(95%时间)不低于17

        15,(95%时间)不低于13

         12.0   

        0.5   

         全硅,zui大值,μg/L

        2

        10

        50

        1000

         1μm微粒数,zui大值,个/mL

        0.1

        5

        10

        500

         细菌个数,zui大值,个/mL

        0.01

        0.1

        10

        100

         铜,zui大值,μg/L

        0.2

        1

        2

        500

         锌,zui大值,μg/L

        0.2

        1

        5

        500

         镍,zui大值,μg/L

        0.1

        1

        2

        500

         钠,zui大值,μg/L

        0.5

        2

        5

        1000

         钾,zui大值,μg/L

        0.5

        2

        5

        500

         氯,zui大值,μg/L

        1

        1

        10

        1000

         硝酸根,zui大值,μg/L

        1

        1

        5

        500

         磷酸根,zui大值,μg/L

        1

        1

        5

        500

         硫酸根,zui大值,μg/L

        1

        1

        5

        500

         总有机酸,zui大值,μg/L

        20

        100

        200

        1000


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